Определение локальной концентрации примесей и их пространственного распределения в неорганических материалах методом локального рентгеноспектрального анализа

Определение локальной концентрации примесей и их пространственного распределения в неорганических материалах методом локального рентгеноспектрального анализа (локальность и латеральное разрешение до 1 мкм, предел обнаружения до 0.01%)