Установка магнетронного напыления IridaD21A

Установка Irida D21A позволяет наносить на подложку диаметром до 200мм покрытия путем магнетронного распыления мишеней из электропроводных материалов, а так же диэлектрических в случае использования высокочастотных блоков питания. Поддерживается режим реактивного распыления.