МЛ5-2 автоматизированная функциональная подгонка/доводка резисторов

Лазерная автоматическая подгонка резисторов В автоматизированных машинах МЛ5−2 каждый из 2-х зондов устанавливается на управляемом от компьютера XY координатном столе с Z-микролифтом, позиционирование пятна и выполнение подгоночного реза обеспечивается прецизионным 2-х осевым гальваносканером или координатным столом, а подгонка резистивных структур осуществляется автоматически по заданным траекториям реза.

Основные особенности

• Новая скоростная и точная цифровая измерительная система (ЦИС)
• Полуавтоматический и автоматический режим работы
• Литая платформа на виброопорах
• Компактное моноблочное исполнение: рабочее место оператора с элементами управления объединено с рабочей зоной станка и всеми силовыми модулями

• Эргономичное рабочее место оператора предполагает работу сидя
• Высокостабильные одномодовые импульсные волоконные и твердотельные лазеры с диодной накачкой
• Воздушное охлаждение. Отсутствие расходных материалов

Назначение и возможности:

Операции лазерной подгонки резисторов, реализуемой путем автоматического позиционирования и установки каждого из двух зондов на контактные площадки ГИС или подложки с последующей подгонкой резистивных структур по заданным координатам и траектории реза.
Обрабатываемые материалы: подгонка сопротивлений выполненных по тонкопленочной или толстопленочной технологии изготовления резисторов ГИС на стандартных подложках из поликора, ситалла или керамики.

Технические характеристики

Параметры

Общеконструктивная часть
Опорный каркас	+
Рабочее место оператора: монитор и пульт управления	с возможностью регулировки по углу наклона и расстоянию от оператора
Защитный козырек от лазерного излучения	+
Габаритные размеры машины в сборе, мм	1100*1200*1500
Координатно-кинематический модуль
Модуль автоматизированного перемещения зондов
Автоматизированные координатные столы для перемещения зондов по осям XY	+
Количество комплектов столов,	2
Рабочее поле координатного стола XY, мм,	60×60
Точность позиционирования по осям, XY мкм, не хуже	10
Расчетный шаг перемещения по координатам XY, мкм	2
Точность позиционирования зонда на контактные площадки, мкм	10
Скорость перемещения зондов, мм/сек	0,01 … 10
Микролифты для перемещения зондов по оси Z	В наличии
Диапазон перемещений зондов по оси Z1, мм, не менее	5
Модуль выполнения подгоночного реза
	Исполнение «С» Координатный стол	Исполнение «Г» Гальваносканер
Тип	Рамочный стол на ШВП	Huurryscan c RTC 4
Рабочее поле в плоскости XY, мм,	100×100	60×60
Точность позиционирования по осям, XY мкм, не хуже	4−6	1−2
Шаг перемещения по координатам XY, мкм	1,0	0.5
Скорость перемещения предметного стола, мм/сек	0,01 … 10	10000
Лазерно-оптический модуль
	Исполнение «Д» твердотельный лазер с диодной накачкой	Исполнение «В» Волоконный лазер
Тип лазера	TECH-1053 Basic	Иттербиевый волоконный High Contrast
Длина волны излучения, мкм	1.06±0.1	1.02−1.07
Длительность импульса, нсек, не более	5	100
Частота повторения импульсов, Гц, регулируемая	0,01−1 кГц	0.01−50
Средняя мощность, Вт, до	3	10
TВ-канал системы визуального прицеливания и контроля	+
Увеличение телевизионной оптической системы (с объективом f=100мм), крат	30
Линейное поле зрения, мм	6
Светодиодная подсветка зоны обработки	+
Технологический модуль
Предметный стол с прецизионной подстройкой платформы столика по углу и высоте.	+
Диапазон угловой подстройки платформы предметного столика φ, º	±10
Диапазон подстройки (точной юстировки) платформы предметного столика оси Z, мкм	5
Комплект из 2-х измерительных зондов	+
Размеры плат закрепляемых на приспособлении, мм	60*48
Модуль управления
Двухкоординатный джойстики-манипулятор с устройствами обеспечивающим режим ускоренного перемещения	3 шт.
Высокоскоростная цифровая измерительная система (ЦИС).	+
Диапазон сопротивления подгоняемых резисторов, Ом	1.0 …10
Допускаемая основная погрешность контроля резистора Rx (ДОП): в диапазоне 1,0…9,99 Ом, %, не хуже в диапазоне 10…99,9 Ом, %, не хуже в диапазоне 102…9,99×105Ом, %, не хуже в диапазоне 1×106…9,99×106Ом, %, не хуже Допускаемая доп. погрешность (ДДП) измерений, вызванная изменением напряжения питания на ±10%.	± [0.5+0.02(R/Rx-1)]* ± [0.2+0.01(R/Rx-1)]* ±[0.1+0.005(R/Rx-1)]* ± [0.3+0.02(R/Rx-1)]* не превышает ДОП в выбранном диапазоне.
Цепь обратной связи ЦИС с системой управления лазером	+
Управляющий компьютер с монитором, клавиатурой и «мышью»	+
Операционная система	Windows
Управляющая программа	«ML53.rus».
Режимы перемещений и ввода координат постановки измерительных зoндoв и сканатора: -Перемещение каждого из зондов по командам от компьютера по заданному алгоритму (чертежу). — Предотвращение пересечения зон перемещений зондов. -Ручной режим перемещений (перемещение зондов и сканатора производится вручную c последующим заданием координат их места положения). -Режим перемещений путем задания координат пo электронному чертежу (производится загрузка и отображение данных электронного чертёжа cтaндаpтныx форматов *.dwg, *.dxf, *.plt, в ПО установки, после чего указанием нужных позиций на чертеже производится задание соответствующих координат).
Виды выполнения траектории подгонки: — Резка перемычек (излучение лазера не зависит от результатов измерения резистора); — Ручной режим подгонки с помощью джойстик-манипулятора (при достижении заданного номинала излучение лазера прекращается); — Полуавтоматический режим подгонки c ручным выполнением траектории реза при котором позиционирование стола осуществляется в соответствии с заданными координатами, а траектория peза формируется вручную; Автоматический режим с автоматическим выполнением траектории реза при котором позиционирование стола выполняется в соответствии с заданными координатами, а траектория реза формируется автоматически в соответствии с заданными параметрами. Автоматическое выполнение траекториизаранее заданной стандартной фopмы c указанными длинами плеч (I, Ii, L или J — peзы) либо формы, заданной чертежом в формате *.lml /*.lmc;
Основные режимы работы и функции ПО: Технологическая подготовка, загрузка, создание и редактирование Проекта задания для подгонки резисторов на заданной подложке и сохранение проекта. Изменение технологических параметров и последовательность обработки элементов изделия. Загрузка и работа с файлами формата *.ml35. Сохранение протокола-отчета о выполнение задания в стандартном виду (в формате *txt, *doc, *.xls) и по шаблону пользователя (в форте *.doc, *.x1s). Выполнение сбора, сохранение, загрузка и отображение статистических данных о выполнении задания. Построение и сохранение графиков подгонки каждого резистора. Пошаговая доводка до номинала с заданными параметрами. Осуществление долевого перехода по плечам траектории подгонки Выполнение подгонки cоотношений резисторов.