Состав:- Микроскоп МИА-Д — 1 шт.;
- Блок освещения и управления — 1 шт.;
- Волоконно-оптический жгут — 1 шт.;
- Компьютер с монитором (или ноутбук) — 1 шт.;
- Кабели — 4 шт.;
- Руководство по эксплуатации — 1 шт.
Пример работы микропрофилометра:- Участок поверхности компакт-диска
- Прямоугольная решетка TGZ3 фирмы NT-MDT (высота профиля — 80 нм, период — 3 мкм)
Перейти на страницу примеров работы микропрофилометра | Стоимость от 2 500 000 р. «МИА-1М предназначен для измерения профиля поверхности отражающих объектов в микро- и нанодиапазоне, а также показателя преломления жидкости (при использовании специальной кюветы). Микропрофилометр МИА-1М позволяет исследовать отражающие объекты, состоящие из различных по своим электрическим свойствам материалов (диэлектрик, проводник и пр.) и рассчитывать параметры шероховатости (Ra, Rz, Rmax и пр.). Для расширения диапазона измерения высот профиля поверхности в микроскопе используется метод регистрации на нескольких длинах волн (при использовании специального осветительного блока). МИА-1М может использоваться в биологии для исследования микробиологических объектов без окрашивания при их размещении на отражающей поверхности. Области применения в промышленности:- бесконтактное измерение нано и микропрофиля отражающих поверхностей
- измерение высотных и шаговых параметров шероховатости
- измерение толщины тонких пленок
- динамические измерения
в биологии и медицине:- возможность исследования живых неокрашенных клеток
- морфометрия клеток
- измерение сухого веса клеток с точностью 10-12 г
- измерение показателя двулучепреломления
- оценка состояния популяции клеток
- динамическая фазовая микроскопия
Принцип действия МИА-1М основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Основой микроскопа является микроинтерферометр Линника МИИ-4М (ЛОМО). Для автоматизации измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе, встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях опорного зеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой видеокамеры и передаются в персональный компьютер, где производится их обработка в автоматическом режиме. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности. |
Технические характеристики | | Поле зрения — канал 1, мкм — канал 2, мкм | 130×175 32×44 | Диапазон измерения высот, мкм | 0,001 ÷ 3 (15*) | Разрешающая способность — в плоскости XY, мкм — по оси Z, Å | 0,3 0,8 | Диапазон измерения показателя преломления | 1 ÷ 2 | Абсолютная погрешность измерения показателя преломления | 1•10-3 | Числовая апертура микрообъектива | 0,65 | Пределы перемещения для фокусировки, мм | 3 | Увеличение, крат | 33,4 | Пределы перемещения интерференционной головки по вертикали, мм | ± 1,5 | Цена деления шкалы барабана микрометрического винта интерференционной головки, мм | 0,003 | Источники излучения | лазеры | Длина волны, мкм | 0,473; 0,532; 0,635; 0,650 | Алгоритм реконструкции | метод фазовых шагов | Размерность изображения, пиксель | 1392×1040 | Время измерения и обработки, сек | 30 | Число обрабатываемых интерференционных картин | 9 | Электропитание от сети переменного тока — напряжение питания, В — частота, Гц | 220 ± 22 50 ± 1 | Потребляемая мощность, не более Вт | 250 | Габаритные размеры, мм | 340×370×380 | Масса, кг | 30 | * - при использовании осветительного блока с несколькими длинами волн |
|
| | Все поставляемое оборудование ВНИИОФИ прошло первичную поверку |
|