Автоматизированная установка магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления Caroline D12A
установка термического напыления установка магнетронного напыления напылительное оборудование вакуумное оборудование высокие технологии машины и оборудование
Вакуумно-технологическая установка «CarolineD12А» предназначена для магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления на керамические, кремниевые, ситаловые и другие плоские (толщина не более 30 мм.) подложки Ø до 100 мм.
Мишени на магнетронах располагаются горизонтально.